凸角补偿

作品数：18被引量：35H指数：3
导出分析报告
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
相关作者：明安杰梁静秋王维彪陈维友董玮更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林大学华中科技大学北京大学更多>>
相关期刊：《半导体光电》《中国新技术新产品》《微处理机》《传感技术学报》更多>>
相关基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划福建省重大科技项目更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=中国计量大学学报x
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
KOH和TMAH基腐蚀液中凸角补偿结构的研究
《中国计量大学学报》2023年第3期421-428,共8页孙卫华 韩建强 徐宇翔 张智超 施阁 
浙江省自然科学基金重点项目(No.LZ22F040002)。
目的:在湿法各向异性腐蚀MEMS微结构过程中常出现凸角底切现象,需要设计凸角补偿图案以获得完整的凸角结构。方法:实验测量了不同电阻率的硅片在KOH和TMAH基腐蚀液中的底切率和八种凸角补偿图案的补偿深度,并与理论预测的补偿深度进行...
关键词：各向异性湿法腐蚀 凸角补偿 加速度计 底切率 补偿深度 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部