电化学刻蚀

作品数：72被引量：132H指数：6
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扫描隧道显微镜钨针尖的制备与表征被引量：2
《微纳电子技术》2020年第4期333-338,共6页王学慧 程协 曾红 
采用直流电化学刻蚀方法制备扫描隧道显微镜钨针尖,研究了电化学刻蚀过程中NaOH溶液浓度、钨丝浸入长度和刻蚀电压对针尖形貌的影响。通过扫描电子显微镜(SEM)测量针尖曲率半径和针尖纵横比值,以表征针尖的尺寸和形状;通过能谱仪(EDS)...
关键词：扫描隧道显微镜(STM) 电化学刻蚀 扫描电子显微镜(SEM) 场发射显微镜(FEM) 钨(W) 针尖 
电化学刻蚀半导体的结构分析
《微纳电子技术》2008年第2期97-99,113,共4页申慧娟 
结合多孔硅(Si)、多孔砷化镓(GaAs)以及多孔磷化铟(InP)的不同孔形貌,综合分析了元素半导体硅及Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体GaAs、InP的刻蚀结构,系统地阐述了晶体结构在电化学刻蚀中的作用。化合物半导体由于存在晶格极化和各向异性,使得不同...
关键词：电化学刻蚀 多孔硅 电流控制模型 晶格极化 形貌 
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