电化学刻蚀

作品数:72被引量:132H指数:6
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《电子显微学报》2021年第1期73-73,共1页张辉 
样品类型:钨、铂;制作方法:电化学刻蚀制钨针尖、FIB镀铂仪器型号:FEI Titan 80-300透射电子显微镜.该作品为氧化物相变存储材料原位实验过程中前端金属铂镀层熔融后拍摄而成。细小的铂金属颗粒融合,形成大而圆的颗粒,好似初升的红日;...
关键词:透射电子显微镜 电化学刻蚀 仪器型号 原位实验 钨针尖 颗粒分散 金属铂 铂金属 
山·水·楼
《电子显微学报》2020年第1期34-34,共1页苻娇 任子君 
由于金刚石具有宽频带隙能、高击穿率等优点,且适用于高温/高氧化、高辐射等环境,具有替代压力传感器中硅基材料的潜力。然而,传统的多晶或纳米晶金刚石的晶间存在一定的杂质和应力,电导率很低。因此,本课题提出以离子注入结合化学气相...
关键词:电化学刻蚀 单晶金刚石 化学气相沉积 扫描电子显微镜 拍摄环境 压力传感器 硅基材料 薄膜状 
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