抛光剂

作品数：168被引量：79H指数：5
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阴离子改性抛光剂对磷酸盐激光钕玻璃抛光的影响被引量：5
《中国激光》2020年第10期113-117,共5页刘伯勋 焦翔 谭小红 朱健强 
国家自然科学基金(61827816,11875308,61675215);上海市“科技创新行动计划”(19142202600)。
为了改善氧化铈抛光液的性能,在不破坏钕玻璃表面质量的前提下提高钕玻璃的抛光效率,选择在氧化铈抛光液中加入阴离子表面活性剂雷米邦A,并研究了改性后的抛光液对氧化铈抛光液中粒子粒径、钕玻璃的材料去除率和抛光后钕玻璃表面质量的...
关键词：材料 化学机械抛光 磷酸盐激光钕玻璃 阴离子表面活性剂 材料去除率 表面粗糙度 
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