电容薄膜

作品数：31被引量：50H指数：5
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电容薄膜真空规校准方法的研究
《中国仪器仪表》2023年第2期34-37,共4页刘贝贝 刘燚 蒋厚庸 周宇仁 
基于真空衰减法的阳性样品校准装置的研制(E00RY2210)
本文利用电容薄膜真空计校准装置、高精度数字压力计、稳压电源和数字多用表,采用比较法完成了对(1~1000)Torr绝压电容薄膜真空规的量值溯源,扩展不确定度为U=(0.69%~0.02%)(k=2)。
关键词：电容薄膜真空规 数字压力计 数字多用表 
电容薄膜真空计校准装置的研制被引量：1
《中国仪器仪表》2020年第9期77-80,共4页刘贝贝 张书令 许红 
介绍电容薄膜真空计校准装置的研制过程,采用静态膨胀法原理,其测量范围为(1×10^(-1)~1×10~4)Pa,相对扩展不确定度为(0.22%~0.06%)(k=2)。装置体积比采用原位法进行测试,各体积比相对标准不确定度为0.02%。
关键词：静态膨胀法 电容薄膜计 体积比 真空校准 
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