气流传感器

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脊形波导气流传感器制作
《仪器仪表学报》1996年第S1期371-371,共1页王跃林 金仲和 丁纯 徐义刚 
国家自然科学基金
脊形波导气流传感器制作王跃林，金仲和，丁纯，徐义刚（浙江大学信电系）光纤作为传感元件已为人们广泛接受并得到相当的重视，脊形光波导与光纤一样是一种光波导，当然也能用作传感元件。本文用微机械技术解决了脊形波导与机械结构间...
关键词：脊形波导 气流传感器 光波导 固定臂 干法刻蚀 国家自然科学基金 叶片 半导体激光器 传感元件 光敏器件 
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