气敏器件

作品数：108被引量：190H指数：6
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厚膜型气敏器件膜厚影响气体检测灵敏度的研究被引量：4
《半导体技术》2000年第2期23-25,共3页傅军 
海南省自然科学基金资助项目!( 5 980 1)
利用化学沉淀法制备 Sn O2 纳米材料 ,再利用平面丝网印刷技术制备不同膜厚的 Sn O2 厚膜型气敏器件试样 ,测量不同厚膜气敏器件试样对甲烷气体检测灵敏度和阻温曲线 ,并进行复阻抗分析。实验表明试样膜厚对检测灵敏度的影响是明显的 ,...
关键词：气敏器件 膜厚 灵敏主 丝网印刷 氧化锡 检测 
低功耗烧结型半导体气敏器件的研制
《半导体技术》1989年第1期32-34,共3页王文祥 
以化合物半导体SnO_2为基体的烧结型气敏器件,是较早实现商品化的一种器件.这类器件通常需要加热到一定的温度才能正常工作,才具有较好的气敏特性.一般采用电加热方式,根据加热器是否直接与敏感材料接触而分为直热式和旁热式两种.这类...
关键词：气敏器件 烧结型 半导体 
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