气敏器件

作品数：108被引量：190H指数：6
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膜厚对SnO_2厚膜型气敏器件灵敏度的影响被引量：1
《无机材料学报》1999年第6期951-955,共5页傅军 
海南省自然科学基金!59801
本文通过制备不同膜厚的纳米SnO2厚膜型气敏器件试样，测量试样对乙醇气体的灵敏度和试样的阻温曲线并进行复阻抗分析，研究了试样的膜厚对灵敏度的影响．SnO2纳米材料由化学沉淀法制备，采用平面丝网印刷技术制作不同膜厚的气敏试样．...
关键词：灵敏度 丝网印刷 二氧化锡 气敏器件 厚膜型 
金属Sn氧化薄膜的真空退火与原位XPS测量被引量：6
《无机材料学报》1998年第1期65-70,共6页严辉 马黎君 陈光华 黄世平 文华杰 郭伟民 
本文研究了在真空退火过程中金属Sn氧化薄膜表面L元素Sn和O的化学性质．利用X射线光电子能谱（XPS）的表面分析方法，发现在金属Sn氧化薄膜的表面上存在大量的吸附氧粒子（O-和）提高真空退火温度，吸附氧粒子的数量增加；同时吸附氧粒...
关键词：氧化薄膜 高温退火 XPS 测量 锡 气敏器件 
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