气敏器件

作品数:108被引量:190H指数:6
导出分析报告
相关领域:电子电信自动化与计算机技术更多>>
相关作者:林志东孙良彦徐甲强全宝富付萍更多>>
相关机构:吉林大学中国科学院武汉工程大学山东大学更多>>
相关期刊:更多>>
相关基金:国家自然科学基金河南省自然科学基金海南省自然科学基金北京市自然科学基金更多>>
-

检索结果分析

结果分析中...
选择条件:
  • 期刊=新材料产业x
条 记 录,以下是1-1
视图:
排序:
中科院固体所成功研制高性能电阻型薄膜气敏器件
《新材料产业》2013年第6期91-91,共1页
据报道,近期,中国化学院固体物理研究所(简称“中科院固体所”)所与中科院上海微系统研究所的相关课题组合作,提出将微/纳结构有序多孔薄膜与基于微电子机械加工(MEMS)技术的微型基板相结合的思路,成功地实现了高性能电阻型薄...
关键词:气敏器件 多孔薄膜 中科院 电阻型 固体 性能 微电子机械加工 物理研究所 
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部