驱动振子

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压电微喷驱动振子的有限元仿真与分析
《科技创新与应用》2018年第8期26-27,29,共3页李丽伟 郭强伟 田会珍 李心仪 
压电驱动振子是由压电陶瓷层和单晶硅层组成的复合结构。面向药物微喷应用,以压电驱动振子为研究对象,结合压电本构方程,利用Ansys软件对驱动振子进行模态分析,获得各阶模态振型和固有频率,以及在相应振型下驱动膜上的压力波幅值分布。...
关键词：微喷 压电驱动 有限元分析 耦合场 
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