权重函数

作品数：189被引量：892H指数：13
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改进型晶圆预对准算法
《科学与信息化》2024年第3期123-126,共4页王石磊 李朋 陈胜华 
随着半导体生产工艺的升级,在晶圆处理过程中需要对晶圆圆心进行更加准确的定位。传统的晶圆预对准系统采用的回转半径法、质心法以及圆最小二乘法无法有效避免测量误差引入的异常采样点问题。因此,本文在圆最小二乘法基础上,提出一种...
关键词：半导体生产 晶圆预对准 圆最小二乘法 权重函数 
前景理论研究现状
《大观周刊》2012年第40期3-3,共1页王雨晴 
本研究简单介绍了早期前景理论产生背景，主要内容以及改进的累积前景理论，前景理论应用发展。最后，介绍了国内外研究者对前景理论的批评和我国前景理论研究现状的不足，以期完善。
关键词：早期前景理论 累积前景理论 价值函数 权重函数 
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