电子透射膜

作品数：15被引量：31H指数：4
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MCP电子透射膜的制备及半视场特性
《半导体光电》2004年第3期188-190,241,共4页闫金良 
国家"863"计划资助项目(2001AA313090)
　介绍了微通道板(MCP)电子透射膜在成像器件中的功能,分析了冷基底溅射制膜技术和有机膜涂覆及焙烧的方法制备MCP电子透射膜的工艺缺陷,提出了一种新的MCP输入面电子透射膜的制作方法。在一块MCP输入面的半圆上制作了4nm厚电子透射膜,...
关键词：微通道板 电子透射膜 薄膜制备 像管 
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