紫外超短脉冲激光

作品数：15被引量：15H指数：3
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相关机构：中国原子能科学研究院上海市激光技术研究所中国科学院宁波材料技术与工程研究所更多>>
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紫外超短脉冲激光硅表面微槽刻蚀研究
《应用激光》2024年第4期15-20,共6页陈海鹏 王浩 欧阳文泰 
上海市中央引导地方科技发展资金项目“先进激光应用技术研究与创新能力建设”(YDZX20223100002001)。
硅基微流控板已经被广泛应用于微流控领域,超短脉冲激光技术提供了一种灵活、精确的硅表面微槽制造方法。为降低激光作用过程中对硅材料的热影响,使用脉冲宽度为12 ps的紫外超短脉冲激光进行刻蚀,分析不同激光功率和激光扫描次数等激光...
关键词：超短脉冲激光 激光刻蚀 微槽 硅片 
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