总剂量辐射效应

作品数：54被引量：113H指数：5
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相关作者：张正选郭旗李豫东崔江维陈明更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院大学中国科学院新疆理化技术研究所电子科技大学更多>>
相关期刊：《微电子学与计算机》《核电子学与探测技术》《红外与激光工程》《固体电子学研究与进展》更多>>
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超深亚微米器件总剂量辐射效应三维数值模拟被引量：7
《物理学报》2011年第5期538-544,共7页何宝平 丁李利 姚志斌 肖志刚 黄绍燕 王祖军 
国家重点基础研究发展计划(973)项目(批准号:61354030101)资助的课题~~
本文分析了浅槽隔离(STI)结构辐射诱导电荷的分布情况,给出一种模拟超深亚微米器件总剂量辐射效应的新方法.研究结果表明,如果在栅附近沿着STI侧墙不加辐照缺陷,仿真出的0.18μm超深亚微米晶体管亚阈区I-V特性没有反常的隆起,并且能够...
关键词：总剂量 超陡倒掺杂 Halo掺杂 辐射效应 
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