钽板

作品数：23被引量：48H指数：4
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相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
相关作者：刘施峰刘庆邓超郑欣姚力军更多>>
相关机构：重庆大学西北有色金属研究院湖南华冉科技有限公司南昌大学更多>>
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一种应用于半导体的钽板制备工艺研究被引量：2
《材料开发与应用》2010年第6期29-32,共4页张春恒 吴红 李桂鹏 同磊 汪凯 李兆博 
宁夏回族自治区科技攻关项目基金(2007);宁夏回族自治区国际合作项目基金(2007)
磁控溅射吸附器应用于半导体制造的金属化工艺，其作用是在溅射过程中起到聚焦和净化的作用。由于需要在表面进行均匀一致的滚纹处理，所以对其坯料的板形以及同板差有非常严格的要求，同时对内部组织也有较高要求。为了制备满足其要求...
关键词：溅射 同板差 晶粒度 
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