微动台

作品数：46被引量：156H指数：7
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基于电磁补偿天平的微纳力值标准装置的性能研究被引量：1
《传感技术学报》2015年第12期1779-1784,共6页胡刚 蒋继乐 张智敏 张跃 
国家科技支撑计划项目(2011BAK15B06)
采用基于电磁补偿原理的精密天平,研制了一种微纳力值标准装置。通过高等级的标准砝码对天平进行校准,实现标准装置力值的SI溯源,在500 n N^500μN范围的力值测量标准不确定度小于0.7%。该装置用于对原子力显微镜(AFM)微悬臂弹性常数和...
关键词：力值计量 微纳力值标准装置 电磁补偿天平 纳米微动台 微悬臂 力传感器 
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