微机电一体化

作品数：14被引量：9H指数：1
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综观微机电一体化被引量：4
《机电一体化》1996年第4期18-20,共3页朱念 朱果扣 朱建国 
微机电一体化,是机电一体化的一个重要分支和发展新种,国外又称微电子机械学。它是当代微机械技术和先进的微电了技术的高度融合,并在同一材质基底上的联体集成,是微米(μm)水平的机电一体化。微机电一体化产品,泛指几何尺寸不超过1cm^...
关键词：微机械制造 微机 机电一体化 
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