微机电一体化

作品数：14被引量：9H指数：1
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微机电一体化与纳米技术被引量：1
《电子科技》1995年第3期1-4,8,共5页赵玉珍 段宝岩 
文中介绍了当前国际上微型机械、微型机械电子学的发展现状与趋势。提出了进行以微米、纳米技术为基础的微机电一体化新技术研究的建议。
关键词：微机电一体化 纳米技术 微型机械 
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