微机构

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微平面机构的结构设计与制造
《光学精密工程》1993年第6期34-39,共6页李伟 陆景唐 季超仁 宋汉斌 董鸣 蔡建中 
本文通过微平面机构的设计制造和测试研究,提出了一整套行之有效的工艺方法,所制造的微机构运动自如,文章还进一步探讨了有关运动、动力、摩擦等方面的问题。
关键词：微机构 工艺 微平面机构 集成电路 
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