微机构

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计算机辅助微技术设计
《工程设计学报》2003年第2期62-65,共4页 Ulli Hansen Hans-Jochamin Franke Stephanus Büttgenbach 桂贵生(译) 刘全坤(译校) 
微机构和微系统设计需要综合应用许多不同的制造工艺,因而是非常复杂的.介绍了用于计算机辅助微技术设计的系统,它综合工艺描述工具,并将其输出存储在全程数据模型中.
关键词：计算机辅助微技术设计 微机构 硅基微系统 数据储存 
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