微机械传感器

作品数：23被引量：50H指数：4
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相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
相关作者：王跃林吕树海李海涛廖小平刘清惓更多>>
相关机构：罗伯特·博世有限公司中国科学院南京信息工程大学东南大学更多>>
相关期刊：《电子测试》《仪器仪表学报》《电子元器件应用》《舰船导航》更多>>
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梳齿的不平行对电容式微机械传感器阶跃信号响应的影响被引量：5
《传感技术学报》2005年第3期525-530,共6页董林玺 孙玲玲 车录锋 王跃林 
国家重点基础研究规划973项目"集成微光机电系统"资助(G1999033101)
分析了梳齿电容式传感器在三种电容驱动方式下,梳齿电容极板的不平行对传感器受到阶跃加速度信号作用时可靠工作条件的影响。得到了梳齿倾斜效应对传感器阶跃加速度响应影响的分析模型。结果表明梳齿电容在同样的电压驱动下,若电容极板...
关键词：电容式传感器 惯性传感器 可靠工作范围 阶跃信号 
梳齿的不平行对电容式微机械传感器可靠工作范围的影响被引量：8
《Journal of Semiconductors》2005年第2期373-378,共6页董林玺 车录锋 王跃林 
国家重点基础研究发展计划资助项目 (批准号 :G19990 3 3 10 1)~~
分析了梳齿电容式传感器梳齿极板间的不平行在三种电容驱动下 ,对传感器的可靠工作范围的影响 .结果表明梳齿电容在同样的电压驱动下 ,当电容极板间的倾斜角由 0 1°变到 0 5°时 ,单边电容结构和双边电容结构的可靠工作范围变为电容...
关键词：电容式传感器 惯性传感器 可靠工作范围 脉冲信号 
提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究(一)被引量：2
《仪表技术与传感器》2002年第11期1-2,共2页郑丹 宋朝辉 张鲲 
国家 973项目"集成微光机电系统研究"(G1 9990 331 0 1 )的资助
表面微机械微小量程压力传感器采用多晶硅薄膜等有内应力的敏感膜片时 ,应力往往会使膜片的力学灵敏度大大下降 ,无法满足微量程测量的要求。波纹膜片可以消除或减小应力来提高灵敏度 ,但是其波纹结构本身又会造成力学灵敏度下降 ,从而...
关键词：压力膜片 微机械传感器 力学灵敏度 薄膜残余应力 压力传感器 
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