微机械传感器

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仪器仪表发展的新技术及其特征
《自动化信息》2004年第7期16-21,共6页陈伟彬 凌志浩 
在当今信息社会中，仪器仪表的重要性勿庸置疑；而随着社会的发展、科技的进步，它的发展也呈现几大主要趋势。期间，新技术的层出不穷和新应用的要求也为仪器仪表的发展带来了新的挑战和机遇，本文分别从几个方面讲述了仪器仪表的新发展。
关键词：仪器仪表 MEMS 软逻辑 虚拟仪器 IP CORE 微型化 微机械传感器 PC-BASED 
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