微机械传感器

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微机械传感器的新进展
《上海微电子技术和应用》1996年第1期38-42,共5页鲍敏杭 陈宏 
微机械加工技术在微执行器方面的应用最引入注目，但迄今从微机技术发展中得到最大好处的仍是传感器，在微机加工技术的推动下，微机械传感器，特别是力敏传感器获得了很大的发展，压力传感器获得了很大的发展，压力传感器继续扩大市场...
关键词：微机械加工 微机械传感器 微机行器 
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