微麦克风

作品数：14被引量：17H指数：2
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移动互联网络时代MEMS技术的创新发展被引量：7
《微纳电子技术》2013年第6期337-341,共5页赵正平 
微电子机械系统(MEMS)技术是半导体微电子学的创新,利用Si基集成电路的平面工艺从两维加工向三维加工发展,开创了MEMS新的领域。综述并分析了与信息产业以及移动网络相关的MEMS主流产品(加速度计、陀螺仪、微麦克风、数字微镜器件(DMD)...
关键词：微机电系统(MEMS) 纳机电系统(NEMS) 加速度计 陀螺仪 微麦克风 数字微镜器件(DMD) 微能量采集器 喷墨头 
硅基压电悬臂梁式微麦克风的设计与优化
《微纳电子技术》2007年第7期210-212,共3页方华军 刘理天 任天令 
设计了一种硅基PZT压电悬臂梁式微麦克风。这种微麦克风采用压电多层膜悬臂梁作为声压感受器件,采用有限元耦合场分析的方法对压电复合膜悬臂梁进行了有限元分析和模拟,研究了压电复合多层膜悬臂梁的结构参数与力学性能的关系,分析了影...
关键词：微麦克风 PZT 压电悬臂梁 
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