微麦克风

作品数：14被引量：17H指数：2
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纹膜结构微麦克风的动态特性:使用EDA/CAD工具进行Top-down设计被引量：4
《Journal of Semiconductors》2001年第7期951-956,共6页陈兢 刘理天 李志坚 
综合使用通用电路模拟软件 PSPICE和有限元分析软件 A NSYS对一种硅基微麦克风进行了系统模拟 .得到了各项参数的优化值 ,优化后的微麦克风在音频范围内具有平直的响应 .在此基础上 ,提出了一种 Top- down的优化设计方式以准确预测系统...
关键词：CAD EDA 动态特性 微麦克风 纹膜结构 TOP-DOWN设计 
纹膜结构用于电容式硅微麦克风的研究被引量：2
《Journal of Semiconductors》1996年第12期907-913,共7页邹泉波 刘理天 李志坚 
国家自然科学基金
本文提出的一种纹膜结构单硅片微麦克风，采用了硅微机械技术，且实现了麦克风电容两电极之间的自对准，大大提高了麦克风的生产效率，降低了成本．纹膜结构有降低和消除膜内应力的作用，而纹膜的三维结构使麦克风电容的有效面积有所增...
关键词：硅微麦克风 纹膜结构 电容式 麦克风 
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