微细电化学加工

作品数：24被引量：160H指数：7
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微细电化学加工技术被引量：6
《机电工程技术》2005年第5期11-14,23,共5页曾繁章 郭钟宁 刘江文 
广东省自然科学基金资助项目(020144);广州市科技计划项目(2004Z3-D0051)
介绍了微细电化学加工的原理及特点,详细介绍了基于电化学扫描探针显微镜进行的电化学微细加工技术、EFAB制作技术、刻蚀剂层技术(CELT)、超微细电极电化学加工技术等几种目前主要的微细电化学加工技术。
关键词：微细零件 微细电化学加工 电化学显微镜 EFAB CELT 超微细电极 
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