雾化现象

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多晶硅生产过程中雾化现象的研究及预防
《中文科技期刊数据库(全文版)工程技术》2016年第6期00261-00261,共1页孙运德 
针对在多晶硅还原炉的生产运行中,常有大量细硅粉生成,即雾化现象,进而影响产品品质的问题,进行了简要分析,并从硅棒温度、物料流量等主要方面介绍了控制措施,对还原炉的雾化控制、多晶硅产品品质的提升提供参考。
关键词：多晶硅 还原炉 雾化 
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