相位掩模

作品数：91被引量：309H指数：9
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相关领域：电子电信机械工程理学更多>>
相关作者：余海湖宁提纲隋连升姜德生郭会勇更多>>
相关机构：武汉理工大学北京交通大学西安理工大学吉林大学更多>>
相关期刊：《光学精密工程》《光学学报》《微细加工技术》《功能材料》更多>>
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准分布式光纤布拉格光栅高温传感器被引量：19
《激光与光电子学进展》2016年第10期64-71,共8页杜勇 司金海 陈涛 李思佳 崔巍 李存霞 侯洵 
国家973计划(2012CB921804);国家自然科学基金青年基金(11204236;61308006)
针对耐高温准分布式光纤布拉格光栅(FBG)传感器的需求,利用飞秒激光相位掩模辐照结合光纤拉伸,研究出制备不同周期的布拉格光栅的方法。通过改变光纤两端施加应力的大小来控制FBG的周期,得到具有不同布拉格波长的FBG并构成准分布式高温...
关键词：光纤光学 准分布式温度传感器 飞秒激光微加工 相位掩模 光纤布拉格光栅 
准分子激光相位掩模法制备大晶粒尺寸多晶硅薄膜被引量：5
《光学精密工程》2012年第1期58-63,共6页张健 林广平 张睿 崔国宇 李传南 
国家973重点基础研究发展计划资助项目(No.2010CB327701);吉林省科技厅支撑计划重点资助项目(No.20093056)
为扩大晶粒尺寸并降低晶粒间界缺陷对多晶硅薄膜晶体管的不良影响,采用准分子激光相位掩模法制备了大晶粒尺寸的多晶硅薄膜。首先,在无相位掩模时利用不同能量密度的准分子激光晶化非晶硅薄膜,通过扫描电镜观测晶粒尺寸确定超级横向生...
关键词：多晶硅薄膜 准分子激光 相位掩模 
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