相位掩模

作品数：91被引量：309H指数：9
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相关领域：电子电信机械工程理学更多>>
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准分子激光相位掩模法制备大晶粒尺寸多晶硅薄膜被引量：5
《光学精密工程》2012年第1期58-63,共6页张健 林广平 张睿 崔国宇 李传南 
国家973重点基础研究发展计划资助项目(No.2010CB327701);吉林省科技厅支撑计划重点资助项目(No.20093056)
为扩大晶粒尺寸并降低晶粒间界缺陷对多晶硅薄膜晶体管的不良影响,采用准分子激光相位掩模法制备了大晶粒尺寸的多晶硅薄膜。首先,在无相位掩模时利用不同能量密度的准分子激光晶化非晶硅薄膜,通过扫描电镜观测晶粒尺寸确定超级横向生...
关键词：多晶硅薄膜 准分子激光 相位掩模 
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