谐振传感器

作品数:47被引量:102H指数:6
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光激励和光检测微型硅谐振器研究被引量:2
《中国激光》1998年第3期253-256,共4页高金山 王家桢 童诗白 
国家自然科学基金
分析了光激励谐振器振动的检测问题,用调制激光束激励谐振器使其发生振动,并采用光学干涉的方法测量了这种微振动。
关键词:光纤传感器 硅微结构 谐振传感器 
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