离子植入

作品数：77被引量：0H指数：0
导出分析报告
相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>
相关作者：邓双双岳红宇姜耀宇罗涛汪晓东更多>>
相关机构：瓦里安半导体设备公司旺宏电子股份有限公司山米奎普公司德淮半导体有限公司更多>>
相关期刊：《福建人》《核科学与工程》《科学24小时》《半导体信息》更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=电子工业专用设备x
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
日本开发出新的半导体制造设备
《电子工业专用设备》2004年第7期41-41,共1页
东京消息，日本东芝公司和半导体制造设备业者日本真空技术公司最近联合开发出制造电晶体基本部分的新离子植入设备，可使制造成本减半，将来可能改变半导体业的竞争环境。
关键词：东芝公司 真空技术公司 半导体制造设备 离子植入 电晶体 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部