立体光刻

作品数：86被引量：332H指数：8
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大粘度复合纳米材料面投影微立体光刻系统的分辨率研究被引量：1
《应用光学》2011年第5期867-871,共5页周庚侠 班书宝 孙天玉 顾济华 吴东岷 
国家重点基础研究发展计划(973计划)(G2009CB929300);国家自然科学基金项目(60807039/F050105)资助课题
基于数字微反射镜的动态掩膜面投影微立体光刻技术是一种基于快速原型制造思想的新型微细结构加工手段,其系统中常用树脂槽和涂覆装置使得其无法适用于粘度大的固化材料。为实现粘度大的复合纳米材料的固化制造,构建了新型的基于数字微...
关键词：微立体光刻 分辨率 树脂化学响应 临界调制传递函数 
面投影微立体光刻系统的开发和研究
《制造业自动化》2011年第2期129-132,共4页周庚侠 班书宝 吴东岷 顾济华 
国家重点基础研究发展计划(G2009CB929300);国家自然科学基金委员会青年科学基金项目资助(60807039/F050105)
面投影微立体光刻由于具有加工精确度高、分辨率高、速度快等特点而成为最有前途的微立体加工技术之一。本文介绍了实验室开发的用于复杂器件制作的面投影微立体光刻系统,该系统中采用LED模组作为光源,为了适用粘度大的固化材料的加工,...
关键词：面投影微立体光刻 复合材料 MTF测量 树脂固化曲线 
微立体光刻中光敏树脂特性的实验研究被引量：2
《科学技术与工程》2011年第4期736-739,共4页周庚侠 班书宝 顾济华 孙天玉 吴东岷 
国家重点基础研究发展计划(G2009CB929300);国家自然科学基金委员会青年科学基金项目(60807039/F050105)资助
微立体光刻技术是基于快速原型制造技术思想的新型微细加工技术。在微立体光刻制造中,光敏树脂在一定波长的光照下发生固化反应,光敏树脂的曝光量阈值和透射深度是光敏树脂的两个重要的特性参数。对掺入质量比20%氧化硅纳米颗粒自行制...
关键词：微立体光刻 复合材料 曝光量阈值 穿透深度 
金刚石结构光子晶体的计算与制备
《Journal of Semiconductors》2007年第z1期20-23,共4页张瑞娟 尹海清 文景 曹文斌 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2004CB719802),教育部博士点基金(批准号:20050008002)和北京科技新星项目(批准号:2003B12)资助项目Project supported by the State Key Development Program for Basic Research of China (No. 2004CB719802),the Fund for Doctors in University of the Ministry of Education of China(No.20050008002), and the Beijing Scientific Novel Star Project (No.2003B12)
通过平面波法计算金刚石结构光子晶体的禁带特征,得出:当RA=0.16时,禁带宽度最大;当晶格常数a=8.5mm时,对应的最大禁带宽度为3.5GHz,对应的禁带范围为15.3～18.7GHz.利用CAD软件设计了在x,y,z三个方向上的周期数分别为2,4,6的金刚石结...
关键词：光子晶体 光子禁带 立体光刻 
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