立体光刻

作品数:86被引量:335H指数:9
导出分析报告
相关领域:化学工程机械工程更多>>
相关作者:黄笔武王功刘兵山薛亚辉唐昆更多>>
相关机构:DWS有限公司南昌大学中国科学院清华大学更多>>
相关期刊:更多>>
相关基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划陕西省自然科学基金更多>>
-

检索结果分析

结果分析中...
选择条件:
  • 基金=国家重点实验室开放基金x
条 记 录,以下是1-1
视图:
排序:
微立体光刻压电陶瓷的形变预测与补偿研究被引量:1
《电子元件与材料》2019年第4期77-82,共6页张园豪 陈韦岑 吴大伟 
国家自然科学基金面上项目(51675278);机械结构力学及控制国家重点实验室开放课题(MCMS-0317G01)
现有微立体光刻技术制备的压电陶瓷普遍存在密度小、性能低、几何精度难以精确控制等问题。本文通过设计陶瓷浆料各组分之间的成分比例,控制光固化参数和热处理工艺,建立几何形变的数学预测和补偿模型,制备了致密性高、形状复杂的压电陶...
关键词:微立体光刻 压电陶瓷 几何精度 形变补偿 压电性能 
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部