量测系统

作品数:139被引量:525H指数:13
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盈丰水电站自动化控制系统的改造被引量:3
《自动化应用》2021年第9期102-105,共4页马艳丽 任江涛 
2019年学院黑河水力发电公司产学研基地项目YZJD024。
盈丰水电站建设年代较早,自动化控制系统落后,电站的自动化改造按照水电站计算机监控系统、低压机组自动控制系统、闸门计算机监控系统、大坝安全监测和信息化系统、梯级电站联合调度等标准进行分期改造。本次改造主要针对水电站计算机...
关键词:盈丰水电站 自动化改造 计算机监控 力水量测系统 微机调速器 
低能大束流离子注入机剂量控制系统实现被引量:2
《自动化应用》2021年第2期20-22,共3页方加晔 张丛 
剂量控制技术是大束流离子注入机关键核心技术,剂量控制的精度将直接影响晶元的离子掺杂水平进而影响半导体器件的制造。大束流剂量控制系统由硬件和算法两部分构成,其中硬件系统包含量测系统、运动控制系统、冷却系统和注入机械部件等...
关键词:剂量控制流程 量测系统 运动控制系统 算法 异常处理 
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