对向靶溅射

作品数：21被引量：12H指数：2
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材料制备工艺
《电子科技文摘》2000年第5期36-36,共1页
0007596对向靶溅射制备 CN 膜研究[刊]/姜恩永//真空科学与技术学报.—1999,19(增刊).—108～110(C)0007597WC 和 Si 衬底生长金刚石薄膜的研究[刊]/邵淑敏//真空科学与技术学报.—1999,19(增刊).—65～71(C)
关键词：制备工艺 对向靶溅射 金刚石薄膜 真空科学 技术学 微波辐射 交联壳聚糖 水热法制备 增刊 衬底 
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