对向靶溅射

作品数：21被引量：12H指数：2
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对向靶溅射α″-Fe_(16)N_2薄膜结构及其热稳定性
《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》2001年第4期558-561,共4页许英华 姜恩永 王怡 侯登录 赵慈 
用对向靶反应溅射法制备了α″- Fe1 6 N2 薄膜 ,用 X射线衍射 (XRD)、透射电子显微镜(TEM)和振动样品磁强计 (VSM)对α″- Fe1 6 N2 的结构、磁性以及结构的热稳定性进行了分析讨论 .结果表明 ,随退火温度的升高 ,α″- Fe1 6 N2 相逐...
关键词：饱和磁化强度 对向靶溅射 Fe16N2薄膜 热稳定性 结构 
对向靶溅射α″-Fe_(16)N_(2)薄膜的结构与磁性
《河北师范大学学报（自然科学版）》2000年第4期459-461,共3页许英华 姜恩永 侯登录 
国家自然科学基金资助项目(50072015)
用对向靶反应溅射法制备了α″-Fe1 6 N2 薄膜 ,用 X射线衍射 ( XRD)和振动样品磁强计 ( VSM)对其结构、磁性进行了分析讨论 。
关键词：饱和磁化强度 对向靶溅射 Fe_(16)N_(2)薄膜 
材料制备工艺
《电子科技文摘》2000年第5期36-36,共1页
0007596对向靶溅射制备 CN 膜研究[刊]/姜恩永//真空科学与技术学报.—1999,19(增刊).—108～110(C)0007597WC 和 Si 衬底生长金刚石薄膜的研究[刊]/邵淑敏//真空科学与技术学报.—1999,19(增刊).—65～71(C)
关键词：制备工艺 对向靶溅射 金刚石薄膜 真空科学 技术学 微波辐射 交联壳聚糖 水热法制备 增刊 衬底 
α″- Fe_(16)N_2薄膜结构热稳定性的研究
《信息记录材料》2000年第1期9-11,共3页许英华 白海力 侯登录 王怡 姜恩永 
α″- Fe16N2的结构及其高饱和磁化强度是磁性材料研究中最有争议的问题。本文用对向靶反应溅射法制备了α″- Fe16N2薄膜 ,用 X射线衍射 (XRD)、透射电子显微镜 (TEM)和振动样品磁强计 (VSM)对其结构、磁性以及结构的热稳定性进行了分...
关键词：饱和磁化强度 对向靶溅射 Fe16N2薄膜 热稳定性 
对向靶溅射制备CN膜研究被引量：1
《真空科学与技术》1999年第A10期108-110,共3页姜恩永 王怡 
使用对向靶系统在Ｓｉ（１００）基片上于不同Ｎ２分压下制备ＣＮ膜样品。Ｘ射线衍射表明样品为非晶结构。用Ｘ射线光电子谱测量膜中Ｎ的含量，结果表明膜中／Ｃ随Ｎ２分压提高而增大，当Ｎ２分压为１００％时，Ｎ／Ｃ达到０．４６。用...
关键词：对向靶溅射 氮化碳膜 键态 溅射系统 
对向靶溅射制备CN膜的键态被引量：2
《材料研究学报》1999年第5期549-551,共3页王怡 姜恩永 白海力 吴萍 
使用对向靶溅射系统制备ＣＮ 膜． 研究了膜的结构和Ｃ与Ｎ 之间的键态．膜为非晶结构，Ｎ／Ｃ随Ｎ２ 分压增大而增大，Ｎ 与Ｃ的键合优先形成Ｎｓｐ２Ｃ，Ｎｓｐ３Ｃ的含量随Ｎ／Ｃ上升而增大．Ｎ 含量进一步增大时， 出现新的键...
关键词：对向靶溅射 CN膜 键态 
对向靶溅射高炮和磁化强度(Fe,Ti)-N薄膜
《真空科学与技术》1998年第2期146-150,共5页姜恩永 王合英 刘明升 
国家自然科学基金;21世纪青年科学基金
本实验用对向靶溅射仪分别在Si（100），NaCl单晶衬底上成功地制备出具有高炮和磁化强度的（Fe，Ti）－N薄膜，研究了氮气分压和衬底温度对薄膜结构与磁性的影响。氮气分压为0．04～0．07Pa，衬底温度为100～150℃时，有利于Fe_(16)N_2...
关键词：对向靶溅射 薄膜 磁性 铁氮薄膜 
对向靶反应溅射制备AlN薄膜的结构及物性被引量：3
《广西大学学报（自然科学版）》1998年第2期131-134,共4页吴世伟 曾令民 张丽萍 覃文 
用对向靶反应溅射制备的AIN薄膜(Si(100)基片),高气压为(100)取向,低气压下为(002)取向,精确测量XRD衍射峰位可看出AIN薄膜有较大应力.由AIN(100)取向薄膜XPS分析结果可知,AI2P和N1S的结合能分别为73.7eV和396.7eV.对硬度的测量发现AIN...
关键词：对向靶溅射 薄膜 制备 X光衍射 氨化铝 物性 
光学薄膜材料及器件
《中国光学》1997年第3期75-76,共2页
O484.1 97031925用对向靶溅射法外延生长La-Ca-Mn-O巨磁阻单晶薄膜=Epitaxial growth of La-Ca-Mn-O giantmagnetic resistance single-crystal thinfilms by opposite-target sputtering method[刊,中]/曾宪庭,黄康权(香港中文大学物理...
关键词：对向靶溅射 香港中文大学 电子工程 外延生长 氮化硅薄膜 单晶薄膜 原子力显微镜 器件 双折射滤光片 光学 
掺杂Ti对Fe－N薄膜结构与磁性的影响
《金属学报》1996年第11期1199-1203,共5页王合英 姜恩永 白海力 吴萍 刘明升 
国家自然科学基金;中关村联合测试基金;天津市21世纪青年科学基金
用对向靶溅射仪制备出含多量Ｆｅ（１６）Ｎ２相的（Ｆｅ，Ｔｉ）－Ｎ薄膜，研究了掺杂Ｔｉ对Ｆｅ－Ｎ薄膜结构与磁性的影响，在溅射Ｆｅ－Ｎ薄膜时加入适量的Ｔｉ可提高Ｆｅ－Ｎ薄膜中Ｆｅ（１６）Ｎ２相的含量．Ｔｉ含量（原子分数）...
关键词：对向靶溅射 掺杂 磁性 薄膜 钛 
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