光学薄膜材料及器件  

出　　处：《中国光学》1997年第3期75-76,共2页Chinese Optics

摘　　要：O484.1 97031925用对向靶溅射法外延生长La-Ca-Mn-O巨磁阻单晶薄膜=Epitaxial growth of La-Ca-Mn-O giantmagnetic resistance single-crystal thinfilms by opposite-target sputtering method[刊,中]/曾宪庭,黄康权(香港中文大学物理系),许建斌(香港中文大学电子工程系)//中国科学(A辑).-1996,26(1).

关 键 词：对向靶溅射 香港中文大学 电子工程 外延生长 氮化硅薄膜 单晶薄膜 原子力显微镜 器件 双折射滤光片 光学 

分 类 号：O484.41[理学—固体物理]