单晶薄膜

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铌酸锂晶体、单晶薄膜及其在光芯片产业的未来布局
《前瞻科技》2025年第1期49-57,共9页陈昆峰 唐供宾 胡卉 乔伟 王亚男 薛冬峰 
国家自然科学基金重点国际(地区)合作与交流项目(2220105010)。
随着5G/6G通信技术、大数据、人工智能等应用领域的快速发展,新一代光子芯片的需要日益增长。铌酸锂晶体凭借优异的电光、非线性光学和压电特性,成为光子芯片的核心材料,被称为光子时代的“光学硅”材料。近年来,铌酸锂单晶薄膜制备和...
关键词：铌酸锂单晶 薄膜铌酸锂 光芯片 集成光子学 
氧化镓同质外延及二维“台阶流”生长研究
《人工晶体学报》2025年第2期219-226,共8页李悌涛 卢耀平 陈端阳 齐红基 张海忠 
国家自然科学基金(62204270);福建省科技重大专项(2022HZ027006);福建省自然科学基金(2024J01251)。
如何同质外延生长出具有原子级平整的氧化镓(Ga_(2)O_(3))单晶薄膜,是制备高性能Ga_(2)O_(3)基功率电子器件或紫外光电器件的基础。本文通过金属有机气相外延(MOVPE)技术综合调控外延生长的热力学条件与动力学参数,在Ga_(2)O_(3)衬底上...
关键词：氧化镓 同质外延 二维“台阶流”生长 MOVPE 单晶薄膜 原子级平整 
用于压电单晶薄膜晶圆制备的键合面清洗技术研究
《压电与声光》2024年第5期700-703,728,共5页刘善群 丁雨憧 陈哲明 石自彬 龙勇 邹少红 庾桂秋 张莉 
高性能薄膜声表面波滤波器对压电单晶薄膜晶圆键合面的洁净度提出了严苛的要求。目前采用的常规清洗技术对因离子注入后而残留的大量颗粒等污染物的去除效率低,导致键合晶圆存在较多气泡或者空洞,因此提出了一种采用硫酸与过氧化氢混合...
关键词：压电单晶薄膜晶圆 清洗技术 离子注入 晶圆键合 表面洁净度 
卤化物钙钛矿单晶及光电探测器:研究进展和挑战
《物理学进展》2024年第5期209-242,共34页孙悦 黄小芮 贺圣荣 邢军 
新疆维吾尔自治区自然科学基金青年基金(2022D01C66);新疆维吾尔自治区研究生创新项目(XJ2023G084);新疆维吾尔自治区天山创新团队项目(2023D14001);新疆维吾尔自治区天池博士基金项目(TCBS202138);新疆大学博士科研启动基金项目(202102120012)资助。
近年来,由于金属卤化物钙钛矿材料展现出了优异的光学和电学特性(如高吸收系数、长载流子扩散长度、小激子结合能、高缺陷容限、可调带隙等性质),以及其具有低成本的溶液制备工艺,使其在光探测、光电转换和光发射等领域取得了巨大的科...
关键词：钙钛矿 单晶 单晶薄膜 三元阳离子 光电探测器 
铌酸锂单晶薄膜化学机械抛光及极化研究
《功能材料》2024年第9期9222-9228,共7页乔骁骏 薛刚 丑修建 
国家自然科学基金面上项目(62171415);山西省自然科学基金项目(202203021222068);广东省基础与应用基础研究基金(2023A1515110108)。
使用化学机械抛光制备硅基铌酸锂单晶异质集成薄膜,研究了在薄膜制备过程中不同阶段下薄膜状态,利用原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱分析(XPS)对单晶铌酸锂的表面形貌与元素含量变化进行了表征,并通过高压极化装置对铌酸锂薄膜实现...
关键词：铌酸锂 化学机械抛光 异质集成 极化 
钽酸锂单晶薄膜的退火处理与微结构分析
《压电与声光》2024年第4期545-549,共5页杨杰 高艺卓 朱代磊 帅垚 吴传贵 罗文博 
离子注入剥离技术制备的钽酸锂单晶薄膜可用于高品质因数和低热漂移窄带射频滤波器,但高能离子注入使钽酸锂薄膜存在缺陷及晶格损伤,限制了器件性能的提升,无法充分发挥单晶薄膜的性能优势。使用退火工艺对钽酸锂薄膜进行损伤修复,采用...
关键词：钽酸锂单晶薄膜 退火处理 拉曼光谱 晶体缺陷 薄膜成分偏析 
BaTiO_(3)纳米单晶薄膜在外加电场作用下畴结构演化的相场研究
《人工晶体学报》2024年第7期1136-1149,共14页李昊晴 苏煜 
国家重点研发计划(2023YFF0616800);国家自然科学基金(12172046)。
铁电薄膜的工作电场加载频率及基底失配应变可影响微观畴结构形态和材料宏观铁电性能。本文利用相场模拟方法分别研究了在-0.1%、-0.7%的失配应变下,0.1~100 kHz频率范围内BaTiO_(3)纳米单晶薄膜的铁电性能变化规律。研究发现,随着外加...
关键词：铁电薄膜 相场方法 钛酸钡纳米单晶薄膜 金兹堡-朗道方程 频率效应 失配应变 
科海拾贝
《中国石油和化工》2024年第4期55-55,共1页本刊 
华东理工自主研发钙钛矿单晶薄膜通用生长技术获突破,华东理工大学在4月2日举行的新型钙钛矿光电子材料研究成果媒体采访会上发布消息,近期,华东理工大学清洁能源材料与器件团队自主研发了一种钙钛矿单晶薄膜通用生长技术,将晶体生长周...
关键词：金属卤化物 光电子材料 光电子器件 材料库 晶体生长 钙钛矿 研究成果 单晶薄膜 
溶液空间限域法制备有机-无机杂化卤化铅钙钛矿单晶薄膜及其器件应用研究进展
《人工晶体学报》2024年第4期572-584,共13页张庆文 单东明 张虎 丁然 
国家重点研发计划青年科学家项目(2022YFB3607500);国家自然科学基金(62274076)。
近年来,有机-无机杂化卤化铅钙钛矿材料因其出色的光电特性在国际上备受瞩目,并已成功应用于太阳能光伏、光电探测、电致发光等多个领域。目前绝大部分器件研究都集中在钙钛矿多晶材料上,但钙钛矿单晶材料拥有更低的缺陷态密度、更高的...
关键词：钙钛矿半导体材料 溶液空间限域法 钙钛矿单晶薄膜 光电子器件 单晶薄膜生长 
基于模板剥离法制备高性能钙钛矿单晶薄膜光电探测器
《发光学报》2024年第2期195-203,共9页单东明 张瀚文 张庆文 张虎 丁然 
国家重点研发计划青年科学家项目(2022YFB3607500);国家自然科学基金(62274076)。
近年来,杂化钙钛矿半导体材料由于其带隙可调、吸收系数高、载流子迁移率高、成本低廉等诸多优点,在光电器件领域备受青睐,如太阳能电池、电致发光器件、光电探测器等。其中,钙钛矿单晶薄膜因其无晶界、杂质和缺陷含量低等特点,展现出...
关键词：杂化钙钛矿半导体材料 钙钛矿单晶薄膜 模板剥离法 光电探测器 
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