纳米测量机

作品数：27被引量：123H指数：6
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纳米测量机工作台导轨高精度误差分离原理被引量：1
《上海交通大学学报》2006年第12期2066-2069,共4页杨洪涛 费业泰 陈晓怀 
国家自然科学基金重大国际合作研究项目(50420120134)
为了高精度分离与修正纳米测量机工作台直线度运动和角运动误差引起的阿贝误差,介绍了一种利用速度瞬时中心进行分离的方法,推导了工作台在任意时刻的速度瞬时中心坐标计算公式,根据该公式计算出由于直线度引起的工作台上任意测量点的...
关键词：纳米二维工作台 速度瞬时中心 直线度误差 阿贝误差 坐标测量误差 
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