纳米测量技术

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纳米测量技术
《当代检察官》2019年第10期50-50,共1页郭鸣华 
纳米级测量技术包括:纳米级精度的尺寸和位移的测量,纳米级表面形貌的测量。一是光干涉测量技术,它是利用光的干涉条纹来提高测量的分辨率,其测量方法有:双频激光干涉测量法、光外差干;涉测量法、X射线干涉测量法、F-P标准工具测量法等...
关键词：测量技术 纳米级 干涉条纹 测量法 分辨率 X射线 位移 形貌 
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