纳米测量技术

作品数：23被引量：68H指数：4
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光栅干涉精密纳米测量技术被引量：2
《光学精密工程》2024年第17期2591-2611,共21页李星辉 崔璨 
广东省基础与应用基础研究基金资助项目(No.2021B1515120007);深圳市稳定支持计划项目(No.WDZC20231124201906001);国家自然科学基金资助项目(No.62275142)。
光栅干涉测量是一种重要的精密纳米测量技术,具有高分辨率、高抗干扰能力和多自由度扩展的优势,在先进节点光刻机、超精密机床等场景中发挥着至关重要的作用。对比介绍了光栅干涉、激光干涉与时栅测量技术,明确其应用场景和当前性能参数...
关键词：精密测量 纳米测量 光栅干涉仪 多自由度 误差补偿 
工业制造业中几何量测量技术及应用分析
《大众标准化》2023年第16期153-155,共3页于佃清 
工业制造业是我国经济发展的支柱产业之一,伴随着工业化进程加快,开始有大量新技术、新工艺涌现和应用,在提升工业制造效率和质量的同时,也带来了新的挑战。几何量测量技术在工业制造中应用,主要是迎合制造业智能化发展需要,满足高精度...
关键词：几何量测量技术 工业制造业 应用 纳米测量技术 
纳米测量技术
《当代检察官》2019年第10期50-50,共1页郭鸣华 
纳米级测量技术包括:纳米级精度的尺寸和位移的测量,纳米级表面形貌的测量。一是光干涉测量技术,它是利用光的干涉条纹来提高测量的分辨率,其测量方法有:双频激光干涉测量法、光外差干;涉测量法、X射线干涉测量法、F-P标准工具测量法等...
关键词：测量技术 纳米级 干涉条纹 测量法 分辨率 X射线 位移 形貌 
“微纳制造与纳米测量技术”创新团队通过验收
《航空制造技术》2017年第13期12-12,共1页李丹 
2017年5月30日，依托华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室的“微纳制造与纳米测量技术”教育部创新团队结题验收工作会议召开。结题验收专家组组长由西安交通大学蒋庄德院士担任。
关键词：纳米测量技术 制造装备 创新 国家重点实验室 华中科技大学 西安交通大学 验收工作 教育部 
原子力显微镜在纳米测量技术中的应用被引量：1
《山东工业技术》2014年第21期18-18,共1页刘兰娇 
纳米测量技术作为21世纪计量测试领域研究的重点,一直深受国内外专家的关注。原子力显微镜(AFM)在其研究过程中一直发挥着非常重要作用。论文根据纳米测量所涉及的两个重要领域:纳米长度测量和纳米级的表面轮廓测量,以及在实验教学过程...
关键词：纳米技术 原子力显微镜 纳米测量技术 
美国和韩国科研人员合作开展石墨烯的研究
《计测技术》2014年第2期13-13,共1页李莉萍 
据报道,NIST纳米科学与技术研究中心（CNST）和韩国国家计量院（韩国标准科学研究院,KRISS）刚刚研制出一种独特的纳米测量技术,可用于观察碳化硅基石墨烯的无序结构。
关键词：科研人员 韩国 石墨 合作 美国 技术研究中心 纳米测量技术 科学研究院 
纳米测量技术的现在与未来被引量：2
《金属加工（冷加工）》2013年第8期75-79,共5页荣烈润 
纳米技术源于20世纪80年代，随着它的逐步发展和完善，纳米技术已成为21世纪最重要的科学技术之一，它将在新世纪引起一场新的工业革命，人类将必然在认识和改造自然方面进入一个前所未有的新阶段。目前，纳米科学与技术这一学科可划分...
关键词：纳米测量技术 纳米技术 纳米物理学 科学与技术 科学技术 工业革命 改造自然 纳米化学 
《微纳电子技术》
《电子元件与材料》2008年第9期7-7,共1页
《微纳电子技术》是由信息产业部主管、中国电子科技集团公司第十三研究所主办的中国利支核心期刊，是由国家新闻出版署批准公开发行的国内第一家有关纳米技术的刊物。本刊以介绍21世纪最有希望的纳米技术中的纳米电子学、纳米器件、纳...
关键词：电子技术 中国电子科技集团公司 纳米技术 纳米测量技术 生物芯片技术 生物医用材料 MEMS器件 纳米器件 
面向21世纪的纳米测量技术
《航空精密制造技术》2008年第4期1-5,共5页荣烈润 
介绍了纳米测量的必要性及特殊性,并介绍了几何量纳米测量的基本方法及仪器。
关键词：几何量 纳米技术 纳米测量 干涉仪 
从成功走向更大成功——访约翰内斯·海德汉博士(中国)有限公司首席执行官兼总经理 贾江扬
《电子工业专用设备》2007年第3期64-65,共2页贾江扬 
约翰内斯·海德汉博士有限公司是一个专门从事研发、生产和销售机床控制系统、直线光栅尺、角度编码器、旋转编码器、长度计和数显装置等的国际性跨国公司，至今已有一百多年的历史。探究海德汉成功发展的历史，“专注”是其最大的法宝...
关键词：首席执行官 中国工业 总经理 有限 博士 机床控制系统 纳米测量技术 制造技术 
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