面向21世纪的纳米测量技术  

Nanometrology Technology for 21th Century

作　　者：荣烈润 

机构地区：[1]上海静安区职工大学,上海200040

出　　处：《航空精密制造技术》2008年第4期1-5,共5页Aviation Precision Manufacturing Technology

摘　　要：介绍了纳米测量的必要性及特殊性,并介绍了几何量纳米测量的基本方法及仪器。Geometrical parameter metrology have been into nanometer space.The necessity, peculiarity and key technology of nanometrology were discussed,and basic method and instrument using geometrical parameters for nanometrology were introduced.

关 键 词：几何量 纳米技术 纳米测量 干涉仪 

分 类 号：TG806[金属学及工艺—公差测量技术]