纳米压印光刻

作品数：48被引量：105H指数：6
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纳米压印技术的研究进展被引量：4
《激光杂志》2013年第3期1-3,共3页邢飞 廖进昆 杨晓军 唐雄贵 段毅 
纳米压印技术由于具有操作简单、高分辨率、成本低、重复性高等优点,近年来受到国内外研究机构的高度重视。本文主要介绍了目前主流的几种纳米压印技术,并简要概述了纳米压印技术的研究现状和应用前景。
关键词：纳米压印光刻 高分辨率 高重复性 
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