耐高温型

作品数:50被引量:104H指数:6
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基于温补体声波谐振器件的耐高温型气相色谱检测器被引量:1
《分析试验室》2022年第11期1247-1251,共5页胡继洲 屈贺幂 庞慰 段学欣 
国家重点研发计划(2018YFE0118700)项目资助。
结合气相色谱的高温检测对钻井过程中井下气体的检测具有重要意义。本文使用一种涂覆特定聚合物的温补薄膜体声波谐振器(FBAR),开发出一种对长链烷烃具有高灵敏度的微型检测器。同时实现低成本、兼容互补金属氧化物半导体(CMOS)制造工...
关键词:气相色谱 温度补偿 薄膜体声波谐振器 高温检测 
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