接触式干涉仪

作品数：63被引量：26H指数：3
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接触式干涉仪示值误差测量结果的不确定度评定被引量：1
《精密制造与自动化》2016年第1期50-52,共3页刘兆平 花严红 李振 
接触式干涉仪在各科研院所、企业、高校等单位广泛使用,接触式干涉仪的测量准确度与温度、湿度等环境因素以及测量人员使用的测量方法和测量水平均有关系,在频繁使用的情况下,势必会受到影响,此时应按照国家管理规范要求对接触式干涉仪...
关键词：接触式干涉仪 示值误差 不确定度评定 
接触式干涉仪大量程数字化技术改造
《精密制造与自动化》2015年第4期29-31,共3页王奎 霍磊 徐守品 
接触式干涉仪是利用微差比较测量法测量长度的高精度计量仪器,长时间测量眼睛极易疲劳、劳动强度大、易引入瞄准读数误差等缺点。在保留高精度光波干涉计量特点和基本保持原仪器光机结构的前提下,应用高像素CMOS图像器件及计算机图像处...
关键词：500万像素 CMOS摄像器件 接触式干涉仪 MATLAB语言 
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