多层互连

作品数：20被引量：30H指数：3
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相关领域：电子电信更多>>
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测量技术与设备
《电子科技文摘》1999年第10期87-87,共1页
Y98-61460-69 9915793亚微米晶体管及互连的特征测试工具=A test-vehiculefor characterization of submicron transistors and intercon—nects[会,英]/Bendhia,S.D.& Caignet,F.//1998IEEE 2nd International Caracas Conference on D...
关键词：技术与设备 亚微米 测量 晶体管 测试工具 集成电路 多层互连 演示器 有源器件 应变仪 
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