云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 绝缘层厚度

绝缘层厚度: 作品数：17被引量：49H指数：3; 导出分析报告; 相关领域：电气工程一般工业技术电子电信更多>>; 相关作者：苏新虹黄钰雷建设王达伟谢芳更多>>; 相关机构：无锡华能电缆有限公司中芯国际集成电路制造(上海)有限公司京东方科技集团股份有限公司中华映管股份有限公司更多>>; 相关期刊：《中国设备工程》《通讯世界》《西藏科技》《绝缘材料》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金江苏省教育厅自然科学基金更多>>

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Ta_2O_5绝缘层厚度对ZnO基薄膜晶体管器件性能的影响(英文)被引量：7: 《发光学报》2011年第2期188-193,共6页周帆张良李俊张小文林华平俞东斌蒋雪茵张志林; supported by the National Natural Science Foundation of China(60777018,60776040);"863"project(2008AA03A336)~~; 报道了不同厚度Ta2O5栅绝缘层对氧化锌薄膜晶体管器件性能的影响。在室温下用射频磁控溅射分别制备了100,85,60,40 nm厚度的Ta2O5薄膜作为绝缘层的一组底栅氧化锌薄膜晶体管器件。从实验结果可以得出如下结论:随着Ta2O5栅绝缘层厚度的增...; 关键词：TA2O5 绝缘层氧化性薄膜晶体管磁控溅射表面形貌