冷光源

作品数：424被引量：637H指数：11
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冷光源检测晶片键合质量的实现被引量：1
《半导体技术》2005年第4期13-15,共3页马如兵 孙慧姝 陈斌 王琦 黄辉 黄永清 任晓敏 
国家重点基础研究发展计划资助项目(科技部973资助项目(2003CB314902);国家自然科学基金重点资助项目(90201035);国家自然科学基金重大研究计划项目(90104003)
利用红外透射原理,即根据键合晶片中键合部分可以透光而未键合部分几乎不能透光的原理,同时采用冷光源的独特方法构建了键合质量测试平台以用于初步筛选符合下一步工艺探索的高质量键合晶片。
关键词：晶片键合 红外透射 冷光源 
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