激光退火

作品数：131被引量：119H指数：5
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超声振动辅助激光退火对FTO薄膜光电性能的影响
《无机材料学报》2017年第10期1083-1088,共6页任乃飞 曹海迪 黄立静 李保家 祖伟 
国家973计划(2011CB013004);国家自然科学基金(61405078);江苏省自然科学基金(BK20140567);江苏省重点研发计划(BE2015037);江苏省高校自然科学研究项目(11KJA460003;14KJB430008);江苏省博士后科研资助计划项目(1402090B;1601008B);江苏省"六大人才高峰"项目(2013-ZBZZ-025)~~
在激光退火处理掺氟二氧化锡(FTO)透明导电薄膜过程中引入超声振动,研究了超声振动辅助激光退火对FTO薄膜晶体结构、表面形貌和光电性能的影响。结果表明:与未施加超声振动时相比,该方法可使薄膜上下位移而引起激光聚焦状态发生连续变化...
关键词：掺氟二氧化锡(FTO) 超声振动 激光退火 光电性能 
有序可控纳米银球阵列对a-SiN_x∶O薄膜光致发光增强的研究
《南京大学学报（自然科学版）》2017年第3期387-391,共5页徐奇峰 张鑫鑫 马忠元 吴仰晴 林泽文 徐岭 李伟 陈坤基 黄信凡 徐骏 冯端 
国家重点基础研究发展计划(2010CB934402);国家自然科学基金(61071008;61571221;61634003;11374153);高等学校博士学科点专项科研基金(20130091110024);江苏高校优势学科建设工程项目;江苏省六大人才高峰项目(DZXX-001)
采用聚苯乙烯(PS)纳米小球自组装技术结合激光退火方法制备了三种不同尺寸纳米银球阵列,研究不同尺寸纳米银球阵列对非晶掺氧氮化硅(a-SiN_x∶O)薄膜的光致发光的影响.首先,在p型硅衬底上铺有三种不同尺寸的聚苯乙烯(PS)纳米小球,再采...
关键词：非晶掺氧氮化硅薄膜 局域表面等离激元 光致发光 激光退火 
铁电薄膜退火方法的研究被引量：1
《功能材料》2007年第A02期807-808,共2页田雪雁 徐征 
北京市自然科学基金资助项目（2073030）;国家重点基础研究发展计划（973计划）资助项目（2003CB314707）;国家自然科学基金重点资助项目（10434030）.
以锆钛酸铅薄膜（PZT）为例，分析了国内外铁电薄膜退火的各种方法。针对解决铁电薄膜基底高温生长工艺与硅集成电路承受温度较低的不兼容及器件性质劣化的难题，分别对普通炉子退火、快速热退火及激光退火进行了详细的分析比较。激光...
关键词：锆钛酸铅薄膜 普通退火 快速退火 激光退火 
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