激光外差干涉

作品数:57被引量:163H指数:8
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相关领域:电子电信机械工程更多>>
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相关机构:哈尔滨工业大学浙江理工大学北京工业大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
相关期刊:《中国激光》《测试技术学报》《大连理工大学学报》《燃气轮机技术》更多>>
相关基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家教育部博士点基金浙江省“钱江人才计划”更多>>
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激光外差干涉信号处理技术的研究被引量:2
《宇航计测技术》1998年第4期7-12,共6页谢广平 方萃长 戴高良 殷纯永 
博士后基金;清华大学精密计量与测试国家重点实验室开放基金;教委博士点基金
介绍了两种激光外差干涉信号的处理方法锁相频率解调法及组合频率解调法。此方法适用于需要实时反馈控制以及定位曝光等场合。用此方法,可以使干涉仪的测量分辨力分别达到3nm和0.5nm,干涉仪测量棱镜的允许运动速度达到3mm...
关键词:激光 外差干涉信号 解调 信号处理 
铌酸锂电光调制器用于激光外差干涉新方法
《宇航计测技术》1997年第4期9-12,共4页李彬 梁晋文 
"八五"国家重点科技攻关项目
介绍铌酸锂电光调制器的特点,恰当利用这些特点可以研制出新型的激光外差干涉仪,并给出了两个应用实例。
关键词:铌酸锂 电光调制器 长度测量 激光 干涉仪 
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